请问透平真空机的原理？是不是属于分子泵的一种？能不能介绍一下其性能特征？
时间：2014-09-09
原理有类似之处，都是拿高速旋转的叶片排除气体分子已达到真空。
原理有类似之处，都是拿高速旋转的叶片排除气体分子已达到真空。透平真空机可以看成是有多种真空泵组成的泵组。抽速比较大，但真空度比较低：抽气速率(150～20000L/S)和真空度(0.099MPa）。而分子泵的真空度可以到达10-6Pa,抽速可以10L/S～3500L/S。但分钟泵必须配合前几泵使用
分子泵可以达到10-8Pa，抽速可以达到4000L/S，分子泵配合前级泵使用。
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