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涡旋式真空泵的工作原理及设计加工与应用

时间：2015-02-03

涡旋式真空泵的工作原理涡旋式真空泵主要包括左定子、右定子、转子、曲轴、防自转机构、进气口、排气口等部分。气体在由涡旋定子和涡旋转子组成的月牙腔内压缩，涡旋定子固定在机架的周边上，在涡旋定子的周边上开有吸气口，在转子和定子涡旋体中心部开有排气口。

涡旋式真空泵主要包括左定子、右定子、转子、曲轴、防自转机构、进气口、排气口等部分。气体在由涡旋定子和涡旋转子组成的月牙腔内压缩，涡旋定子固定在机架的周边上，在涡旋定子的周边上开有吸气口，在转子和定子涡旋体中心部开有排气口。涡旋转子随着曲轴的回转以偏心量作为半径绕定子中心做公转运动。在涡旋转子还受防自传结构的约束，不能自传，始终保持着一种固定的姿势，其中心绕涡旋定子中心作半径为R的圆周运动。涡旋式真空泵运转的时候，两个涡旋定子和涡旋转子的涡线基本相同，只要将两者的相位错开180°，并且各自中心保持相聚R即可组合而成。结果在两个涡旋体之间形成了一系列月牙形压缩腔。涡旋转子中心每回转90°按顺时针方向做圆周运动，吸气结束后，涡旋体外圆周的压缩室出于关闭状态。由此可以设想压缩机结构式压缩腔一面向中心处移动，压缩腔的容积一面逐渐变小。一个压缩腔从吸气，经压缩，最后排气的全过程。

为了减轻泵涡旋体的重量，其基材用铝，在表面上涂镀一层特殊性能的聚四氟乙烯，以增加耐磨性和耐腐蚀性。该泵涡旋体间相邻工作腔的压差小 , 故气体泄露量小 , 泵的驱动转矩变化小，因此泵的噪昔低、振动小。该泵特点是重量轻、体积小，为卧式结构，可以从大气压力下直接抽到 10-1Pa ，是一种使用范围很宽的粗抽用干式真空泵。